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如何掌控真空鍍膜的均勻性

作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2558
如何掌控真空鍍膜的(de)均勻性
我們先來認識下怎麽調試鍍膜機,因為掌握調試鍍膜(mó)機是使用(yòng)鍍膜(mó)機的關(guān)鍵怎麽調試鍍膜機
1、測試設備的抽真空速度,在測試過程中檢查漏氣情況與各真空泵的性能;
2、測(cè)試設備的密封性能,就是抽到極限後(hòu)保壓1小時看壓降是否(fǒu)達標,同時排(pái)除細(xì)小的漏孔;
3、產品試(shì)作,檢驗其他的性能,比如傳動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝保(bǎo)證的話就繼續打樣並作測試。
5、所有的測試應作記錄,並(bìng)有記錄人簽字以及(jí)有使用部門或工程部門(mén)的人確認(rèn)簽字

怎麽掌控真空鍍膜的均勻性?
由於車燈(dēng)鍍膜機原理的(de)不同分為很多種類,僅僅因為都需(xū)要高真空(kōng)度而擁有統一名稱。所以對於不同原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不(bú)盡相同。並且均勻性這個概念本身也會隨(suí)著鍍(dù)膜(mó)尺度和薄膜成分而有著(zhe)不同的意義,下麵(miàn)分別說一下:

均勻性主要體現在3方(fāng)麵:

1、厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學薄膜的尺度上看(也就是1/10波長(zhǎng)作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經相當好,可以輕鬆將粗糙度控製在(zài)可見光波長的1/10範圍內,也就(jiù)是說對於多弧離子鍍(dù)膜機的光學特性來說(shuō),真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子層尺(chǐ)度上的均勻(yún)度,也就是說要實現(xiàn)10A甚(shèn)至1A的表麵平整(zhěng),是現在真空鍍膜中主要的技術含量與技術瓶頸所在。
2、化學(xué)組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分會由於尺度過小而很容易(yì)的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果濺(jiàn)控濺射鍍膜機(jī)過程不科學,那麽實際表麵的組(zǔ)分並不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜並非是想要的膜的化學成(chéng)分,這也(yě)是真空鍍(dù)膜(mó)的(de)技術含量所在。
3、晶格有序度的均勻性:這(zhè)決(jué)定了薄膜(mó)是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術中的熱(rè)點(diǎn)問題。 
下一個:沒有資(zī)料
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