如何(hé)掌控真空鍍膜的均勻性
作者(zhě): 來(lái)源: 日期(qī):2023-04-10 14:44:49 人氣:2559
如何(hé)掌(zhǎng)控真空(kōng)鍍膜的均勻性
我們先來認識(shí)下(xià)怎麽調試鍍膜機,因為掌握調(diào)試鍍膜機是(shì)使用(yòng)鍍膜機的關鍵怎(zěn)麽調試鍍膜機
1、測試設備(bèi)的抽真空速度,在測(cè)試過程中檢查(chá)漏氣情況與(yǔ)各真空泵的性能;
2、測試設備的(de)密封性能(néng),就是抽到極限後保壓1小時(shí)看壓降是否(fǒu)達標(biāo),同(tóng)時排除細小的漏孔;
3、產(chǎn)品試(shì)作,檢驗(yàn)其他的性能,比如傳動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝(yì)保證的話就繼續打樣並作測(cè)試。
5、所有的測試應(yīng)作記錄,並有記錄人簽字以及有使(shǐ)用部門或工(gōng)程部門的人(rén)確(què)認簽字
怎麽掌控真空鍍膜的均勻性?
由(yóu)於車燈鍍膜機原理的不同分為很多種類,僅(jǐn)僅因為都需要高真空度而擁有統一名稱。所以(yǐ)對於不同原理(lǐ)的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡相同。並且均勻(yún)性(xìng)這個概念本身也會隨著鍍膜尺度和薄(báo)膜成分(fèn)而有著不同的意義,下麵分別說一下(xià):
均勻性主要體現在3方麵:
1、厚(hòu)度上的均(jun1)勻性,也可以理解為粗糙度(dù),在光(guāng)學薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜(mó)的均勻性已經相當好(hǎo),可以輕鬆將粗糙度控製(zhì)在可(kě)見光波長的(de)1/10範圍內,也(yě)就是說對於多弧(hú)離(lí)子鍍膜(mó)機的光學特(tè)性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但(dàn)是如果是(shì)指原子層尺度(dù)上的均勻度,也就是說要實現10A甚至1A的(de)表麵平整,是現在真空鍍膜中主要的技術含量與技術瓶頸所在。
2、化學組分上的均勻性:就是說(shuō)在薄膜中,化(huà)合(hé)物的(de)原子組分會由於尺度過小而很容易的產生不均勻特(tè)性,SiTiO3薄膜,如果濺控濺射鍍膜(mó)機過程不科學,那麽實際表麵的組分並不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍(dù)的膜並(bìng)非是想要的膜(mó)的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所(suǒ)在。
3、晶格有序度的均勻性:這決定了薄(báo)膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術中的熱點問題。
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