真空鍍膜機是目前製作（zuò）真空條件應用最（zuì）為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電（diàn）氣控製櫃三大工作原理。

真空主題--真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔（qiāng）的大小也不一樣，目前應用最多的（de）有直徑（jìng）0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體由不鏽鋼材料製作（zuò），要求不生鏽、堅實等，真空腔各部分有鏈接閥（fá），用來鏈（liàn）接各抽氣泵浦。

輔助抽氣係統：排氣係統為鍍（dù）膜機真空係統的重（chóng）要部分（fèn），主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組（zǔ）成，此排氣係統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成”。

排氣流程為（wéi）：機（jī）械泵先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態，為擴散（sàn）泵後續抽真空（kōng）提供前提，之後當擴散泵抽真空的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，已這樣的方式完成抽氣動作。

 機（jī）械（xiè）泵：也（yě）叫前級泵（bèng），機械泵（bèng）是應用最廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果並依靠機械的方法不（bú）斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲（huò）得真（zhēn）空（kōng）。