質（zhì）量流量計，即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表，

其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力（lì）補償。

質量流量控製器，即Mass flow controller(縮寫為MFC），不但具有質量流量計（jì）的功能（néng），

更重要的是，它能自動控製氣體流量，即用（yòng）戶可根據需要進行流量（liàng）設定，MFC自動地將流（liú）量恒定在（zài）設（shè）定值上，

即使係統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定（dìng）值。

簡單地說，質量流量控製器（qì）就是一個穩定裝（zhuāng）置（zhì），是一個可以手動設定或與（yǔ）計算機聯接自動控製（zhì）的氣體穩流裝置。