對於真空鍍膜機設備的分類,到底了解(jiě)多少?
真空鍍膜機主要指一類需要在較(jiào)高真空度下進行(háng)的鍍膜(mó)設備,包(bāo)括真空離子蒸發鍍膜機、磁控濺(jiàn)鍍膜機射、
MBE分子束(shù)外延鍍膜機和PLD激光濺射(shè)沉積鍍(dù)膜機等很多種。
主要是分成蒸發和濺射兩(liǎng)種。
在真空鍍膜設備中需要鍍膜的被成為(wéi)基片,鍍的材料被(bèi)成為靶材。
基片與靶材同在真空腔中。
蒸發鍍膜一般是加熱(rè)靶材使表(biǎo)麵組分以原子團或(huò)離子形式被蒸發出來,並且沉降在基片表麵,通過成膜過程形成薄膜。
真空鍍膜機對於濺射類鍍膜,可(kě)以簡單理(lǐ)解為利用電子或高能(néng)激光轟擊靶材,並使表麵組分以原子團或離子形式被濺射(shè)出來,
並且最終沉積在(zài)基片表(biǎo)麵,經曆成膜過程,最終形成薄膜。爐體可選擇由不鏽鋼、碳鋼或它們的組合製(zhì)成的雙層水冷結構。
根據工藝要求選擇不同規(guī)格及類型鍍膜設備,其類(lèi)型有電阻蒸發真空鍍膜設備、電子束蒸發(fā)真空鍍膜設備、
磁控(kòng)濺射真空(kōng)鍍膜設備、離子鍍真空鍍膜設備、磁控反(fǎn)應濺射真空(kōng)鍍膜設備、空心(xīn)陰極離子鍍和多弧(hú)離子鍍(dù)等。
夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉方式,用戶可根據片尺(chǐ)寸及形狀提(tí)出相應要求,轉動的速度範圍及轉(zhuǎn)動(dòng)精度:普通可調及變頻調速(sù)等。