當前位置:首頁|HL係列多弧離子真空鍍膜機
工(gōng)作原理
應用範圍(wéi)
產品特點
技(jì)術參數表
HL係列多弧(hú)離子真空鍍膜機 | |||||||
型號 | HL-600 | HL-800 | HL-1000 | HL-1200 | HL-1400 | HL-1500 | HL-1600 |
真空(kōng)室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真(zhēn)空機組 | KT400擴散(sàn)泵機組 | KT500擴(kuò)散(sàn)泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) |
鍍膜係統 | 專用多弧(hú)鍍(dù)膜電(diàn)源+多(duō)功能孿生磁環弧靶+柱形弧(hú)靶(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係(xì)統 | 低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質(zhì)量流量計(jì) | 質量流量計(jì) | 質量流量計(jì) | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動(dòng)或(huò)全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
抽氣速率(lǜ) | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空(kōng) | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設(shè)備參數僅做參考,具體均(jun1)按客戶(hù)實際工(gōng)藝要求設計訂做 |