工作原理
應用(yòng)範圍
產品特點
技術參數表
HLB係列大型(xíng)板材管(guǎn)材(cái)真空鍍膜機(jī) | |||||||
型號 | HLB-1800 | HLB-2000 | HLB-3000 | HLW-2000 | HLW3000 | HLW-4000 | HLW-5000 |
真(zhēn)空室尺寸 | Φ1800×2000MM | Φ2000×2000MM | Φ3000×3000MM | Φ2000×6000MM | Φ3000×6000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空機組 | 雙KT800擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙(shuāng)KT1000擴散泵機組*4套 |
鍍膜係統 | 專用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環弧(hú)靶(bǎ)+柱形弧靶(可選配) | ||||||
輔(fǔ)助鍍膜係統 | 低溫(wēn)離子輔助源(除工具鍍外無需加(jiā)溫係(xì)統(tǒng)) | ||||||
充氣係(xì)統 | 質量流量計 | ||||||
控製(zhì)方式 | 手動或全自(zì)動 | ||||||
抽氣速(sù)率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備注 | 以上設(shè)備參數僅做參考,具(jù)體均按(àn)客戶實際工藝要求設計訂做 |