工作原理
WJZ係列無介質獨立膜電阻蒸發真空鍍膜機的原(yuán)理是在真空室中將金屬材料(鋁、鎳、錫等(děng))利(lì)用電阻蒸發技術將材料汽化(huà),汽化後的金屬(shǔ)分子產生飛逸沉積(jī)於基材的表(biǎo)麵上形成鋁、錫等(děng)純(chún)金屬薄膜層,出爐後將膜層從特別的基材表(biǎo)麵可輕輕剝落,形成無介質獨(dú)立性的厚度為2-3μm,具(jù)有一定彈(dàn)性、能(néng)夠隔(gé)離(lí)氣體和光線(xiàn)的薄膜。
應用範圍
產品特點
技術參(cān)數表
WJZ係列無介質(zhì)獨立膜電阻蒸發真空鍍膜機 | |||||||
型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組(zǔ) | KT300擴散泵機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT800擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電阻蒸發源+圓柱磁控多弧(可選配) | ||||||
鍍(dù)膜輔助(zhù)係統 | 低溫離子鍍(dù)膜電源 | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量(liàng)流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手(shǒu)動或全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計(jì)訂做 |