1)、固定筒3 圓筒形狀、大(dà)直(zhí)徑(jìng)、厚壁結構的設計和周向對稱的固定方式,可保證其有足夠的強度和剛度,同時,還可阻止高溫濺射磨料對其內部零部件汙染,保(bǎo)證撥動盤15 轉動的靈活性。
2)、圓形軸承座2 的設計(jì),保證軸承座安裝(zhuāng)的密封性和垂直度;增大軸1 的直徑尺寸,加(jiā)大軸承座2 中兩軸承的安裝間距,提高其自(zì)身的強度和剛度,保證轉動過程中軸(zhóu)1 的剛(gāng)度(dù)和撥動(dòng)盤(pán)15的旋轉靈活性、位置重複的一致性。
3)、裝載換位機(jī)構,通過擴大支承盤16 的直徑,使該機構在平麵(miàn)方向的有效麵積增大,可安裝直徑大(dà)(Φ26.5mm)的比較片,有利於光路調整,提高光學薄膜質(zhì)量;比較片12 由單片玻璃作為一個比較(jiào)片單元,比較(jiào)片采用空間立體疊加安裝方(fāng)式,多片玻(bō)璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內,實現一次可放置50~100 片(piàn)比較片,解決
鍍(dù)膜機鍍製多層精(jīng)密光學薄膜,比較片數量少影(yǐng)響鍍膜層數和精度的(de)問(wèn)題。
4)、定位盤6 與槽型光藕17 的配合,通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫,控製電機轉動停止。軸1 旋轉定位重複的一致性得到保證,帶動(dòng)撥動盤15 完成準確的撥(bō)片動作。
5)、 轉動密封饋入機構引入威爾遜密封機構5,既保證電機9 通過齒輪齧合帶動軸1 的靈活(huó)轉動,又保證真空室對外部(bù)的密封作用。優化設計的真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝(zhuāng)置,其特點:(1)結構簡單,強(qiáng)度高,可靠性好;(2)比較片(piàn)裝載數量大,生產效率提高,可鍍製超(chāo)多層精密光學薄膜;(3)比較片直徑增大,提高薄膜監控的精度,降低對硬件係統的要求,係統容易實現自動控製;(4)維護保(bǎo)養費用低。
通過對真空鍍膜機多片式比較片裝(zhuāng)置的優化設計,保證(zhèng)了(le)比較片(piàn)機構撥片轉動(dòng)的靈活性和重複(fù)的一致性,解(jiě)決了比較片有(yǒu)效麵積小,光(guāng)路調整不(bú)方(fāng)便,光信(xìn)號信噪比差的問題,又解決了比較片裝(zhuāng)載數(shù)量少的問題,可以(yǐ)使現有的真空鍍(dù)膜機鍍製光(guāng)學(xué)薄膜(mó)的質量大(dà)大提高(gāo),並且30 層以上的光(guāng)學薄膜得以鍍製完成。實(shí)踐(jiàn)證明此(cǐ)比較片結構是有用的,可以在現(xiàn)代的光學真空鍍膜行業進行推廣和實施,