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真空鍍膜機的真空室形變的檢測

作者(zhě): 來源: 日期:2016-01-12 16:23:06 人氣:3812
    為盡量減小(xiǎo)真空(kōng)鍍膜機真空室形變帶來(lái)的影響,我們將導軌、絲杆等傳動件固定於一個剛性的中間(jiān)層上,其與真空室(shì)底壁之間采用點、線、麵活性支撐,以吸收和隔離形變,並設置(zhì)形變補償(cháng)調節(jiē)機構,在係(xì)統抽真空前,參照有限(xiàn)元計算提供的理論數據預設適當的補償量,以使(shǐ)其在真空狀態下達到平衡。而這樣的真空設計也使得現在的(de)真空(kōng)鍍膜機就能夠讓鍍膜在真空環境下正常進行,防止外界因(yīn)素的影響。
    而為了驗(yàn)證有限元計算的(de)結果,對真空(kōng)室的形變和補償進行了測試。首先將(jiāng)四隻千分表定位在工作(zuò)台安裝(zhuāng)基點的真空壁外側,當真空室由大氣(qì)抽到真空時,記錄各千分(fèn)表的變化量,經歸一化處理後為用激光自準直(zhí)儀調整(zhěng)形(xíng)變補(bǔ)償。由水平調整的自準直儀發出一(yī)束激光穿過真(zhēn)空室的玻璃窗照射固定於工作台上的反射(shè)鏡(jìng),在大氣環境下調整形變(biàn)補償調節機構,使反射光(guāng)束(shù)進入自準直儀接收視場,記錄兩維角度偏差。這些數據之後需要對其進行分析處理(lǐ),得到測試結果。
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