真空（kōng）鍍膜機主要指一類需要在較（jiào）高真空度下進行的鍍膜，具（jù）體包（bāo）括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很（hěn）多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。真空鍍膜機是目（mù）前製作真空條件應用最為廣泛（fàn）的設（shè）備，對其操作程序（xù）的了解是至（zhì）關重要的環節，在真（zhēn）空鍍膜機（jī）的具體操作過程中建議參照以（yǐ）下標注說明：

        一、 檢查真空鍍膜（mó）機各操作控製開關是否在"關"位置。

        二、打開總電源（yuán）開關，設備送電。

        三、低（dī）壓閥拉出（chū）。開充氣閥，聽不到氣流（liú）聲後，啟動升（shēng）鍾罩閥，鍾罩升起。

        四、安裝固（gù）定鎢（wū）螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁（lǚ）蓋板固定在轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清（qīng）理鍾罩內各部位，保證無任何雜（zá）質汙物。

        五（wǔ）、落下鍾罩。

        六、啟動抽真空機械泵。

        七（qī）、開複（fù）合真空計電源(複合真空計型號:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時針旋轉（zhuǎn）至指向2區段的加熱位置。

               2）低真空表"2"內指針順時針移動，當（dāng）指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉（zhuǎn）至指向2區段測量位置。

        八、當低真空表"2"內指針再次順時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入。這時左旋鈕"1"旋轉至指向（xiàng）1區段測量位置。

        九、 真空鍍膜機開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

        十、低壓閥拉出。重複一（yī）次⑦動作程（chéng）序:左下旋（xuán）鈕"1"轉至指向2區段測量位置。低（dī）真空表"2"內指針順時針移動，當（dāng）指針移動至6.7Pa時，開高壓閥(閥杆（gǎn）順時針旋轉)。

        十一、等低真空表"2"內指針（zhēn）右移動至0.1Pa時，開（kāi）規管燈絲開關。

                1）發射、零點測量鈕"9"旋轉至指（zhǐ）向發射位（wèi）置。

                2）左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

        十二、 旋轉發射調節鈕"4"，使高壓真空表"5"內指針指向5。

        十三、 發射、零點、測量旋鈕（niǔ）"9"旋轉至指向零點位（wèi）置。

        十四、旋轉零（líng）點調節鈕"10"，讓高壓真空表"5"內指針指向0位置。

        十五、 發射、零點、測量（liàng）旋鈕"9"旋轉（zhuǎn）至指向測量位置。

        十六、旋轉標準調節（jiē）鈕"3"，讓高壓真空表"5"內指針指向10。

        十七、旋轉（zhuǎn）"倍加器"開關（guān）鈕"8"至指向（xiàng）10-12，當高壓（yā）真空表"5"內指針逆時針左（zuǒ）移超過1時，再把"倍加器"開關旋鈕"8"旋轉至指向10-3。

        十八、當高（gāo）壓真空表"5"內指（zhǐ）針逆時針（zhēn）移動超過（guò）6.7Pa時，開工件旋轉鈕開關（guān），鍾罩內被鍍件PVDF膜轉（zhuǎn）動。

        十九、開蒸發鈕開關。把電流分插（chā）塞插入（rù）蒸發（fā）電極分配孔內（nèi）(設有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

        二十、 右（yòu）手旋轉右側調（diào）壓器手（shǒu）輪，慢（màn）慢旋轉（zhuǎn）升壓。

                  1）從視鏡窗口（kǒu）觀察鎢（wū）螺旋加熱子的加熱（rè）溫度顏色變化情況。

                  2）當鎢螺旋加熱（rè）子顏色變成黃（huáng）橙色，鋁絲開（kāi）始熔化時，左手操作擋板鈕（niǔ），移開鎢螺旋上方（fāng）擋（dǎng）板。

                  3）鋁絲全（quán）部熔化蒸發，擋板回原位。

                  4）右手旋轉調壓器手輪回零（líng）位（wèi）。第一次（cì）蒸鍍工作（zuò）完成。

        二十一、 如果再想蒸鍍（dù）一次(為了增加電極（jí）金屬層厚度):把電流分插（chā）塞撥出插（chā）入另一（yī）個電極分配孔（kǒng）。重複⑳操作動作。

        二（èr）十（shí）二（èr）、 關閉規管燈絲開關。關閉高壓閥(逆時針（zhēn）轉手柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸發。旋轉機械泵鈕至指向擴散泵位置。

        二十三、 低壓閥拉出。鍾罩充氣。充氣一段時間，當沒有氣.聲時，升鍾（zhōng）罩。

        二十四、鎢（wū）螺旋加熱子（zǐ）內加鋁絲。PVDF薄膜調換另一（yī）麵向下 (原（yuán）下麵（miàn）已鍍一層鋁膜麵向上)。緊固在轉動圓盤上（shàng）。

        二十五、 落鍾（zhōng）罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指（zhǐ）向2區段測量位置 。

                    2）當低壓（yā）真空（kōng）表"2"內指針順時針移動（dòng）到6.7Pa時，低壓閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

                    4）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕（niǔ）"1"旋轉至（zhì）指向2區段測量位置。

                    5）當（dāng）低壓（yā）真空表"2"內指（zhǐ）針順時針移動到指向0.1Pa時（shí），開規管燈絲。

                    6）由⑰開始重複操作至（zhì）⑳ 。

        二十六、 正常生產（chǎn）中，如遇到突然停電時，要立即切斷高（gāo）真空測量，關閉規管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電後，先讓機械（xiè）泵啟動工作3~5min後（hòu），再轉（zhuǎn）入正常生產。