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真(zhēn)空鍍膜機(jī)比較片機構性能

作者: 來源: 日期:2016-03-28 9:29:01 人氣:4254
        分(fèn)析現有光學真空(kōng)鍍(dù)膜(mó)機(jī)比較片機構在使用過程(chéng)中存在的問題。根據現代光學真空鍍膜機的發展趨勢和實際生(shēng)產中急需解決(jué)的問題,通過多方麵(miàn)的研究分析,優化設計(jì)新一代的鍍膜(mó)機比較片(piàn)結構,解決影響光學薄膜(mó)質量(liàng)和超多層精密光學薄膜鍍製的問題,以提高薄膜的監控精度,實現(xiàn)係統的自動控製,提高光學真空鍍(dù)膜(mó)機生(shēng)產(chǎn)效率,降低生產成本。使現代光學真空鍍膜(mó)機的結構配置及使用(yòng)效果達到最佳。
  從上世紀八十年代以來(lái),全球光電科學(xué)技(jì)術發展與進步迅猛,我國研發光學真空鍍膜機設備(bèi),在(zài)引(yǐn)進消化吸收的基(jī)礎上,也迅速發展起來。最近二十多年,我國逐漸成為全球光學產品的加工基(jī)地,作為光學產(chǎn)品的關鍵工序,也是最後一(yī)道工序-- 鍍膜,要求越來越高,真空(kōng)鍍膜機性能和配置也必然要得(dé)到加強(qiáng),提高設備質量、完善設備性能、提高生產效率等問題就顯現出來,這就涉及到此類設備的改造、設計研發(fā),要(yào)求相關(guān)技術人員去解決。
  真(zhēn)空(kōng)鍍膜機比較片(piàn)機構就(jiù)是該類設備(bèi)的必不可少的關鍵部件,高端配置的設備對比較片機(jī)構要求越來越高,它對鍍製多膜層的檢測和(hé)生產效率有著重(chóng)要的(de)不可替代的作用(yòng)。
        現有真空鍍膜機比較片機(jī)構
   國內(nèi)低端的真空鍍膜(mó)機,從發展之初(chū)到近10年左右,大多還沿用(yòng)的該(gāi)比較片結構,如圖1 所示。此比較(jiào)片換位機構,通常由6 個獨立的(de)直徑Φ22mm 的比(bǐ)較片(piàn)組(zǔ)成。該機構主要由(yóu)1 個(gè)托盤16、三個支撐杆110 及1 個比較片盤18 組成,三個支撐杆110 對托盤16起(qǐ)固定(dìng)、支撐的作用,比較片盤18 靠齒輪齧合把運動輸(shū)入使之(zhī)旋轉撥片,三(sān)者配(pèi)合就完成撥片換位動作。由於一般的鍍膜(mó)機真空室直徑尺寸都不大,整個(gè)機構的直徑(Φ124mm)相比較就有些偏大,導(dǎo)致工件盤上可裝(zhuāng)載的鍍(dù)製工(gōng)件麵積比較小,並且(qiě)該機構隻可放置6 個比較片13,直接影響生產效率。
  該(gāi)結構的特(tè)點(diǎn)是:結構簡單,加工(gōng)製造方(fāng)便,安裝實施方(fāng)便易行。缺點:該結構直徑麵積比較(jiào)大,影響裝載工件的數量;比價片放(fàng)置數量少,降(jiàng)低了生產效率;強度和剛度有限,又由於(yú)該結構完全暴露在真空室內,真空室內高(gāo)溫濺射磨料的影響,使轉動平穩性、靈(líng)活(huó)性一般,傳(chuán)動位置重複的一(yī)致性誤差較大,清洗維護頻繁。
  根(gēn)據現有比(bǐ)較(jiào)片結構在使用過程中暴露出的問題,對原有通用鍍膜機比較片結構(gòu)進行多(duō)次的改進,通過設計可重疊放置比較片存儲筒,使比較片機構直徑所(suǒ)占麵積減小,但放置的比較片數量增加到20 片左右, 整(zhěng)個(gè)機構直徑縮小為Φ89mm。結果可增加較小工(gōng)件鍍膜盤上裝載工件的數量,提(tí)高生產效率,還可以提高(gāo)薄膜監控的精(jīng)度,並降低對硬件係統的要(yào)求,容(róng)易實現對係(xì)統的自動控製。
  具(jù)體動作實施,改進後多片比較片機構的轉動,通過連接板23 和連接塊21 固定在真空室頂板上,比較片機構的旋轉運(yùn)動,由旋轉密封軸(zhóu)把運動輸入真空室內的(de)大齒輪,帶動小齒輪所在傳(chuán)動(dòng)軸24 的轉動,最終實現整個比較(jiào)片機構的轉動(dòng)。比較片切換比較片時(shí),通過撥盤29 轉動一個工位(wèi),比較片存儲筒219 內落(luò)下一個比較片,到達(dá)預設的位置,同時,切換(huàn)的比較片隨著工位轉動落在比(bǐ)較片接受筒212 內,每切換一次,撥動一個(gè)工位。其中,傳動軸24、大齒輪、小(xiǎo)齒(chǐ)輪和(hé)軸承座組成的傳動機構來完成撥盤轉動。

  其特點是:(1)減小比較片機構直徑的麵積,提高裝載鍍製工件的(de)數量;(2) 增加比較片的數量,提高生產效率(lǜ),提高薄膜監控的精度,降低對硬件係統的要求,係統容易實現自動控製。缺點:該比較片結構直徑小而長(Φ89×370),影響其使用的強(qiáng)度和剛度;由於該結構暴露在高溫(wēn)濺射磨料的真空室內,影響其轉動平穩性、靈(líng)活性,且轉動位(wèi)置重複的一致性較差,維護清(qīng)洗(xǐ)頻繁費工。

          昆山浦(pǔ)元真空技術工程有限公(gōng)司是一家專業研究(jiū)製造生產真空鍍膜設備(bèi)及其它真空相關設備的國家高新科技企業。公司本著“專注研究鍍膜工(gōng)藝,提(tí)供最優質的(de)產品及服(fú)務”的理念,贏得國內外客戶的滿意及信任,並成功打開國(guó)外市場。我們將會秉承客戶的認可,將鍍膜機研發事業推向新的高峰。我(wǒ)公司期待廣大國內(nèi)外新老顧客前來視察、選購!

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