1、真（zhēn）空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序（xù）以上，應清潔（jié）工作室一次。方法是:用燒堿（jiǎn）(NaOH)飽和溶液反複擦（cā）洗真（zhēn）空（kōng）室內壁，( 注意人體皮膚不可以直接接觸（chù）燒堿溶（róng）液，以免灼傷)目的是使（shǐ）鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反應，反應後（hòu）膜層脫落，並釋放出氫氣。再用清水清（qīng）洗真空室（shì）和用布沾汽（qì）油清洗精抽閥內的汙垢。
2、當粗抽泵(滑閥泵，旋片泵)連續工作一（yī）個月（yuè）(雨（yǔ）季減半)，需更換新油。方（fāng）法是:擰開（kāi）放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數秒，使泵內的舊油完（wán）全排放出來。擰回放油螺栓，加（jiā）入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續使用半年以上，換油時應將油蓋打開，用布擦幹淨箱內汙垢。
3、擴散泵連（lián）續使用6個月以上，抽速明顯變慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯結水管，卸下（xià）電（diàn）爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油（yóu）將泵腔（qiāng）及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然後用清水徹底清洗幹淨，待水份揮發幹以（yǐ）後，裝好泵膽，加入新擴散泵（bèng）油，並（bìng）裝（zhuāng）回機體，接好水（shuǐ）管，裝好電（diàn）爐盤，便可以重新開機。在（zài）重新開機前，要注（zhù）意檢漏工作。方法是:啟動（dòng）維持泵，關好大門，數分鍾後，觀察擴（kuò）散泵部分（fèn）真空（kōng）度是否達（dá）到6X10帕，否（fǒu）則要進行檢漏。檢查聯（lián）接處是否裝密封膠圈，或壓壞（huài）密封圈。排除漏氣隱患後方可加熱，否則擴散泵油會燒（shāo）環，無法進入工作狀態。

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