通俗的定義為在正常狀況下，其應（yīng）用功能不會失效。

想要達到（dào）這個目的（de），一（yī）般而言這（zhè）層薄膜必須具有堅牢的附（fù）著力、很低的內（nèi）應力、針孔（kǒng）密（mì）度很少、夠強的（de）機械性能（néng）、均勻的膜厚、以及足夠的抗化學侵蝕性。

薄膜的特性主要受到沉積過程（chéng）、成膜（mó）條（tiáo）件、接口層的（de）形成和基材的影響，隨後的（de）熱處理亦扮演重要角色（sè）。 

沉積的（de）薄膜有內應力的存在，其來源為何? 

薄膜和基材之間的晶格失配 

薄膜和基材之間的熱膨脹係數差異 

晶界之間的互擠（jǐ）