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膜厚(hòu)的量測(cè)方法有哪些

作者: 來源: 日期:2020-07-28 13:56:26 人氣:10177

膜厚的量測方法大致上可分為(wéi)原位量測、離位量測兩類 

原位星測係(xì)指鍍膜進行中量測,普遍使用在物理(lǐ)氣相(xiàng)沉積(jī),如微天平、光(guāng)學、電阻量測。

離位量測係指鍍膜完成後量測,對電鍍膜的行使較為普遍,具有了(le)解電鍍效率的(de)目的,如質量、剖麵(miàn)計、掃描式(shì)電子顯微鏡。

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