低真空的獲得  

獲得低真空常采用機械泵，機械泵是運用機械方法不斷地改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積（jī）不斷膨脹，從而獲得真空的裝置。

它可以直接（jiē）在大氣壓下開始工作，極限真空度一般（bān）為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉速及空腔體積V的大小有關，一般在（zài）每秒幾升到每秒（miǎo）幾十升之間（jiān）。

高真空的獲得 

目前，廣泛（fàn）使（shǐ）用（yòng）的獲得（dé）高真空的泵（bèng）就是擴散泵。擴散泵是（shì）利用氣體擴散現象來抽氣的，它不能直接在大氣壓（yā）下工作，而（ér）需要一定的預（yù）備真空度（1.33-0.133Pa）。

油擴散泵的極（jí）限真空（kōng）度主要取決於油蒸汽壓和氣體分子的反擴散，一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與結構相關，每秒幾升--幾百升（shēng）不等。