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真空蒸鍍、濺鍍、離子鍍

作者: 來源: 日期:2020-12-25 13:17:41 人氣:2817

真空蒸鍍、濺鍍、離子鍍 

真空鍍主要包括真(zhēn)空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍(dù)幾種類(lèi)型,它(tā)們都是采用在真空條(tiáo)件下,通過蒸餾或濺射等(děng)方式在塑件表麵(miàn)沉積各種金屬和(hé)非金(jīn)屬薄膜(mó),通過這(zhè)樣(yàng)的方式可以得到非常薄的表麵鍍層,同時具有速度快附著力好的突出優點,但是價格也較高,可以進行操作的金屬類型較少,一般用來作(zuò)較高檔產品的功能性(xìng)鍍層


真空蒸(zhēng)鍍法是在高真空下為(wéi)金屬加熱,使其熔融、蒸發,冷卻後在(zài)樣品表麵形成金屬薄膜的方法,鍍層厚度為0.8-1.2um。將成形品表麵的微小凹凸部分填平(píng),以獲得如鏡麵一樣的表麵,無任是為了得(dé)到反射鏡作用(yòng)而實施真空蒸(zhēng)鍍,還是對密接性較低的奪鋼進行真空蒸鍍時,都必須進行底麵塗布處理。


濺(jiàn)鍍通(tōng)常指的是磁控濺鍍,屬於高速(sù)低溫濺鍍法。該工(gōng)藝要求真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空狀態充入惰性氣體(tǐ)氬氣(Ar),並在塑膠(jiāo)基材(陽極)和金屬靶材(陰極)之間加上高(gāo)壓直流(liú)電,由於輝光放電(diàn)(glow discharge)產生的電子激發惰性氣體,產生等(děng)離子(zǐ)體,等離子(zǐ)體將金屬靶材的原子轟出,沉積在塑膠基材上。一般(bān)金屬鍍膜大都采用(yòng)直流濺鍍,而不導電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍。


離子鍍是在真空條(tiáo)件下,利用氣體放(fàng)電使氣體或被蒸發物質部分電(diàn)離,並在氣(qì)體離子或被蒸發物質離子(zǐ)的轟擊下,將蒸發物質或其反應物沉積在基(jī)片(piàn)上(shàng)的方法。其中包括磁(cí)控濺射離(lí)子鍍、反(fǎn)應(yīng)離子鍍、空心陰極放電離子鍍(空心陰極蒸鍍法)、多弧離子鍍(陰極電弧(hú)離子鍍)等

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