CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:81762
CJ係列磁(cí)控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作(zuò)原(yuán)理,所謂“濺射”就是(shì)用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引(yǐn)起物體表麵原子(zǐ)從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電(diàn)磁場,磁場為曲線形,均勻電(diàn)場(chǎng)和對數電場則分別用於平麵靶和(hé)同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生(shēng)碰撞。若電子具(jù)有足夠的能量(約(yuē)為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向(xiàng)陰極(濺射(shè)靶)並以高能(néng)量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射(shè)。
廣泛應用於家電(diàn)電器、鍾表、高爾(ěr)夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩(zhào)、手機按鍵外殼以(yǐ)及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能(néng)塗層,在鍍製(zhì)超黑膜、純金裝飾膜、導電(diàn)膜(mó)等領域(yù)有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性(xìng)好。能夠可靠的鍍(dù)製預定(dìng)厚度(dù)的薄膜,並(bìng)且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層(céng);
2)、薄膜與基片的(de)附著力(lì)強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注(zhù)入現象,在基片上形成一層濺射(shè)原子與基(jī)片(piàn)原(yuán)子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還(hái)可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺(jiàn)射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝(zhuāng)備低溫離子輔助源(yuán),無需加熱直(zhí)接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室(shì)尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散(sàn)泵機組 | KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜(mó)係統 | 直流或中頻電源、鍍膜輔助(zhù)離子專用電(diàn)源 |
充氣係統 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設計訂做 |