CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

日(rì)期:2016-01-16 13:28:37 人氣:81760

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

工作原理

CJ係列磁控(kòng)濺射真空鍍膜機(jī)的磁控濺射工作原理,所謂“濺(jiàn)射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子(zǐ))轟擊物體,從而引起物體表(biǎo)麵原子從母體中逸出的現象。早在1842年(nián)Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止(zhǐ)電磁場,磁場為(wéi)曲線形,均勻電場(chǎng)和對數電場則分(fèn)別用於(yú)平麵靶和同軸圓柱靶。電(diàn)子在電場作用(yòng)下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向(xiàng)陰極(濺射靶)並以高能(néng)量轟擊靶表(biǎo)麵,使靶材(cái)發生濺(jiàn)射。 

應用範(fàn)圍

廣泛應用於家電電(diàn)器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品(pǐn)、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶(táo)瓷、磁(cí)磚等(děng)表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢(shì)。

產(chǎn)品(pǐn)特點

1)、膜厚可控性和重複性好。能(néng)夠可(kě)靠的鍍製(zhì)預定厚度的薄(báo)膜,並且濺射鍍膜可以(yǐ)在較大的(de)表麵上獲得厚度均(jun1)勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子(zǐ)產生不同(tóng)程度的注入現象,在基片上形(xíng)成一層濺射原子與基片原(yuán)子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材(cái)料的薄膜,可以使用不同的材料(liào)同時濺射製(zhì)備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿(fǎng)金膜;
4)、膜層純度高,濺射膜層中不會混入坩(gān)鍋加熱器材料的成份(fèn)。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷(lěng)鍍成(chéng)膜,節能省電,提高產能。

技術參數表

CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空(kōng)室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機(jī)組KT400擴散泵機組KT500擴散泵機組KT800擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵(bèng)機組雙KT630擴散泵機組(zǔ)
鍍膜係統直流或中頻電源、鍍膜輔助離(lí)子專用電源
充(chōng)氣係統質量流量計質量流量計質量(liàng)流(liú)量計質量流(liú)量計質量流量計質量流量計(jì)質量(liàng)流量計
控製方式手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或(huò)全自動手動或全自動手(shǒu)動或全自動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設(shè)備參數僅做參考(kǎo),具(jù)體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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