油擴（kuò）散泵的應用壓強範圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散（sàn）現象來排氣的，它具有結構（gòu）簡單，操作方便，抽速（sù）大（最高可（kě）以達到10+5升/秒）等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱器組成，裏麵主要（yào）添加擴散泵油（日本（běn）的型號是D-704#），根據噴嘴的多少可以（yǐ）分（fèn）為單級泵和多級泵（bèng）。 

        擴散泵底部內儲存有擴散泵油，上（shàng）部為進氣（qì）口，右側（cè）旁（páng）下部為（wéi）出氣口，在工作（zuò）時出氣口由機械泵（bèng）提供（gòng）前置壓強，機械泵充當前置（zhì）泵。 

        當（dāng）擴散（sàn）泵的油被電爐加熱（rè）時，產生的油蒸汽（qì）提供前置壓強，機械泵（bèng）充當前置泵。當擴（kuò）散（sàn）泵油（yóu）被電爐加熱時，產生的油蒸汽沿著導流管經傘形噴嘴向下噴（pēn）出。因噴嘴外麵有機械泵提供的1-10-1帕的真（zhēn）空，故油蒸汽（qì）可噴（pēn）出一段（duàn）距離，構成一個向出氣口方（fāng）向運動的（de）射流。射流（liú）最（zuì）後碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝結為液體，流回（huí）蒸（zhēng）發器，即（jí）靠油的蒸發——噴射（shè）——凝結，重複循環來實現抽（chōu）氣的。 

         由進氣口（kǒu）進入泵內的（de）氣體分（fèn）子，一旦落入蒸汽流中，便獲得向下運動的動量，向下飛去，由於射流具有高的流（liú）速（約200米/秒），高的蒸汽密度，且擴散泵油（yóu）具有高的分子（zǐ）量（300-500）故能（néng）有效的帶走氣體分子，因（yīn）此在射（shè）流的界麵內，氣體分子不可（kě）能（néng）長期滯留，且在射流界麵的兩邊，被抽氣體有很大的濃度差，正是因為這個（gè）濃度差（chà）被抽氣體能不斷的越過界（jiè）麵，擴散進入射流中，被（bèi）帶往出口處，在（zài）出口處再由機械泵抽走。 

         擴散泵的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素，因（yīn）此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油，其化學特性（xìng）要好。 

         擴散泵不能單獨用來抽氣，一般要（yào）求泵的最大出口壓強為40帕。擴散泵的抽速決定（dìng）於第一級噴嘴與泵體進氣口口徑間環形麵積的大小，抽速不是一恒定的值，而是隨著進氣口的壓強而變化的，當壓強在10-2～10-3帕的時候，擴散泵的抽氣（qì）速度（dù）是最快的，當壓強小於（yú）5*10-4帕（pà）之後，擴散泵（bèng）的（de）抽氣速（sù）度最小，幾乎沒有（yǒu）抽氣能力（此時，進（jìn）氣口的壓強較高，由於空（kōng）氣的密度較（jiào）大，使蒸汽流形成不了高速射流以阻擋空氣的反擴散（sàn），所以（yǐ）抽速下降）。 

        擴散（sàn）泵在安裝前要清洗，之後才可以裝（zhuāng）入擴散油，油在加熱前，必須要先對泵抽真空，停機前要先將擴散泵油冷卻（què）到60～70攝氏度，才可以關（guān）閉（bì）前級抽（chōu）氣，最（zuì）後關冷（lěng）卻（què）水。 

       由於油（yóu）擴散（sàn）泵是無法杜絕有返油的幾率，那（nà）麽沒有辦法保證精密產品（pǐn）的100％純淨，特別是半導（dǎo）體行業，所以就有“高真空冷凝泵＋低（dī）真空機械泵”所組（zǔ）成的無油真空係統，冷凝泵組成（chéng）的（de）排氣係統不（bú）僅排氣效率極高，而（ér）且（qiě）有效保證真空腔的清潔，保證產品的質量（避（bì）免產品被汙染、增強膜層（céng）與基板之間的附著力），但是其維護（hù）成本（běn）非常的高，造價昂貴，所以普（pǔ）及率沒有油擴散泵廣泛。 

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