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真空鍍膜機器幾種常用的真空計

作(zuò)者: 來源: 日期:2016-03-25 10:42:02 人氣:4158
        電阻真空計(又叫皮喇尼(ní)真空計(jì)): 
        它主要由電熱絲、外殼和支架構成,主要是根據在低壓下,氣體的熱傳導係數與(yǔ)壓強(qiáng)成正比(bǐ)的方式工作的。上麵開口處與(yǔ)被測(cè)真空係統相連接,熱絲采用電阻溫度係數大的金屬絲做成,兩(liǎng)支(zhī)支架引線與測量線路連接。當壓強降低的時候,由於氣體熱傳導散失的熱量減小,因此當(dāng)熱絲加熱電流穩定時候,則熱絲(sī)溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓(yā)強。

         磁(cí)控放電真空計: 
        工作原理:在放電(diàn)開始時,由於空間遊離(lí)電子向陽極(jí)運動時,在正交電磁場作用下,電子的軌跡不是直線而是(shì)螺旋線前進,又因為陽極(jí)是框形,故電(diàn)子不一定第一次就碰上陽極,而是穿過陽極,然後受到(dào)對麵陰極的拒斥,又複返回。這樣反複多次才可能打上陽極。由於(yú)電子路(lù)程大大加長,故碰撞及電離的分子數增加(jiā),使得在較低壓強(10-4帕(pà)以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。
         目(mù)前比較多(duō)的型號有PKR251、GI-PARY 

          放電(diàn)管真空計:

         在玻璃管中封入兩個金屬電極,在其上加上數千伏的直流高電壓,在一定的壓(yā)強範圍內(1*10-3~2*10托)內(nèi)就能引起自持放電(diàn),通過放電顏色來判定(dìng)其真空度 。 目(mù)前為止此種真(zhēn)空(kōng)計已經很少使用,因(yīn)為其誤差大,容易損壞,而且壽命不(bú)長。

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