真空鍍膜技術是真空應用技術的一個重要分(fèn)支,它已廣泛地應用於光學、電子學、能源開發,理化儀器(qì)、建築機械、包裝、民用製品、表麵科學以及科學(xué)研究等領域中。真空(kōng)鍍膜所(suǒ)采用的方法主要有蒸發鍍、濺射鍍、離子(zǐ)鍍(dù)、束流沉積鍍以及分子束外(wài)延等。此外還有化學(xué)氣相沉(chén)積法(fǎ)。如果從真空鍍膜的目的是為(wéi)了改變物質表(biǎo)麵的物理、化學(xué)性能的話,這一技術又是真空表麵處理技術中的重要組成部分,其分類如表(biǎo) 6 所示。現就其幾(jǐ)個主要應用方麵做一簡單介紹。
首先在光學方麵,一塊光學玻璃(lí)或石英表麵上鍍一層或幾層不同物質的薄膜後,即可成為高反射或無反射(即(jí)增(zēng)透膜)或者作任何預期比例的反射或透射材料(liào),也可以作(zuò)成對某種波長的吸收,而對另一種波(bō)長的透射的濾(lǜ)色(sè)片。高反射膜從大口徑的天文望遠鏡和各種激光器開始、一直到新型建築物(wù)的大窗鍍膜茉莉,都很需要(yào)。增透膜則大量用於照相和各種激光器開始、一直到新型(xíng)建築物的大窗鍍(dù)膜玻璃,都很需要。增透膜則大量用於照相(xiàng)機和電視攝象機的鏡頭上。
在電子學方麵真空鍍(dù)膜更(gèng)占有極為重要的地位。各(gè)種規模的繼承電路。包(bāo)括存貯器、運算器、告訴邏輯元件等(děng)都要采用導電膜、絕緣膜和保護膜。作為製備電路的掩膜則用到鉻膜。磁帶、磁盤、半導體激光(guāng)器,約瑟夫(fū)遜(xùn)器件、電荷(hé)耦合器件( CCD )也都甬道各種薄(báo)膜。
在(zài)顯(xiǎn)示器件方麵,錄象磁頭(tóu)、高密度錄象帶以及平麵顯示裝置的透明導電膜、攝像管光(guāng)導膜、顯示管(guǎn)熒光屏的鋁襯等也(yě)都(dōu)是采用(yòng)真空(kōng)鍍膜法製(zhì)備。在元件方麵,在真空中蒸發鎳鉻(gè),鉻或金屬陶瓷可以製(zhì)造電阻,在塑料上蒸(zhēng)發鋁、一(yī)氧化矽、二(èr)氧化鈦(tài)等(děng)可以(yǐ)製造電容器,蒸發硒可以得到靜電複印機用的(de)硒鼓、蒸發鈦(tài)酸鋇可以製造磁致伸縮的起聲元件等(děng)等。真空蒸發還可以用於製造超導膜和慣性約束巨變反應(yīng)用的微珠鍍層。此外還可以對珠寶、鍾(zhōng)表外殼表麵、紡織品金屬花紋、金絲銀絲線等蒸鍍裝飾用薄膜,以(yǐ)及采用濺射鍍或離子鍍(dù)對刀具、模具等製造(zào)超硬膜(mó)。近兩年內所興起的多弧離子鍍製備鈦金製(zhì)品,如不鏽鋼薄板、鏡(jìng)麵板、包柱、扶手、高檔床托架(jià)、樓梯(tī)欄(lán)杆等目前正(zhèng)在盛行。