隨著科技的發（fā）展，真空鍍膜工藝技術已經在：太（tài）陽能集熱（rè）管、太陽能電池、磁帶、光盤、半導體器件、光學器件、光（guāng）電顯示器件、玻璃、工模具和切削刀具的超硬塗（tú）層、汽輪機葉片的抗熱塗層、五金製品、手表、手（shǒu）機和眼鏡的裝飾、塑（sù）料（liào）製品金屬化、包裝用塑料薄膜等多個領域廣泛應用。

真空鍍膜設備有多種規格的單室機和多室連續機。工藝方法上可分為：真空蒸鍍、離子鍍、濺射鍍（dù）、束流沉積鍍以及分子束外延等（děng）。真空鍍膜設備（bèi）的運（yùn）行性能直接影響生產工藝、產品質（zhì）量和生產，為了使設（shè）備的運行性能正常，必（bì）須建立和完（wán）善設備的（de）；維護與維修製度、維護內容、維修標準等。

一（yī）、維（wéi）護與維修製（zhì）度，為了使（shǐ）真空（kōng）鍍（dù）膜設備在維（wéi）護、維（wéi）修及（jí）生產過程中出現問題能得（dé）到及時收集、傳遞、分析和處理. 而製（zhì）定的管（guǎn）理製度。

1.有完（wán）善的製（zhì）度,如設備的使用操作規程。維修人員（yuán）在維修時應掛放“正在維修”牌，並切斷電源以防他人使用機器設備等.

2.在工廠生產管理中,設備的維護與維修是重要（yào）的（de）一方（fāng）麵。應該有專職的、能力強的維修人員負責。

二、設備的維護，維護可分為：日常維護和定（dìng）期維護。

1.日常維護就是在當天生產中發現設備有不（bú）良（liáng）跡象，就馬上解決（jué）。發現機械泵的油少了就要添（tiān）加，不要認為這油是定期更（gèng）換（huàn）的，等到了時間在維護（hù），可能泵的轉子就（jiù）會磨損嚴重了。再比如工件（jiàn）轉架的軸承有些卡，就要更換軸承，而等到它徹底的壞了再換，問題可就大了，可能引起轉架電機燒毀（huǐ）等。

2.定期維護（hù），有人會問有了日常維護還有必要定期（qī）維護嗎？其實每一種設（shè）備都有自己使用壽命，比如擴散泵用的矽油使用壽命為2年左右，我就規定1年半就把它（tā）換掉，這（zhè）樣做（zuò）是不是（shì）浪費，我覺的（de）不浪（làng）費，從設備服（fú）務於生產來說是值（zhí）得的，老板最不希望看到的是機器在生產階段出現問題。隻要你把日常維護和定期維護做好了，在（zài）延長設（shè）備壽命的同時，生產過程（chéng）中出現（xiàn）故障的幾率（lǜ）也大大降低，生產效率也提高了（le）。

三、設備維修：說到（dào）維修很多人都頭疼的是真空部分（fèn）的（de）漏氣，真空部分（fèn）出了問題（tí）比較麻煩，再加上很多公司沒有檢漏儀，這就要（yào）分階（jiē）段來找。真空抽不上去原因可能有以下幾點：

1.也許是漏率偏高就（jiù）是我們常說的有漏氣；

2.也許是真空機組的抽氣能力不夠了，油被汙染或氧化了（le）；

3.也許（xǔ）是真空室內太髒放氣。

或者是這（zhè）幾種可能都有。出現問題，首先是要判斷，是不是拆裝過（guò）東西？會不會漏水？閥門（mén）打開了嗎？根據現象判斷原因，然後再去根據判（pàn）斷找（zhǎo）問題，可能會收到事半功倍（bèi）的效果。有次（cì）我們清（qīng）洗弧蒸發源（yuán），清洗完裝上一試抽（chōu）真空比以前慢了（le），就懷疑是弧蒸發源漏氣，後來經（jīng）過檢（jiǎn）查是弧（hú）蒸發源的一個密封圈本來是要更換（huàn）的，在（zài）裝配時認為還可以（yǐ）就沒有（yǒu）更換，結果就造成了漏氣。