真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空設備,一般用真空室、真(zhēn)空機組、電(diàn)氣控製櫃三大部分組成,排氣係統采用擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成。
下麵,詳(xiáng)細介(jiè)紹真(zhēn)空鍍膜機的各部分組成及其(qí)工作原理:
1、真空主體(tǐ):真空(kōng)腔根據加工產品要(yào)求的各異,真空腔的大小也不一樣(yàng),目(mù)前應用最多的(de)有直徑(jìng)1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔(qiāng)體由不鏽鋼材料製作,要(yào)求(qiú)不生鏽、堅實等,真空(kōng)腔各部分有連接閥,用來(lái)連接各抽氣(qì)泵浦。
2、輔助抽氣係統:排氣係統(tǒng)為(wéi)鍍膜機真空係統的重要部(bù)分,主(zhǔ)要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨(cí)泵)、油擴散(sàn)泵三大部分組成。此排(pái)氣係統采用"擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold"組成。排氣流程(chéng)為:機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為(wéi)擴散泵(bèng)後繼(jì)抽真空提供前提,之後當擴散泵抽真空腔的時候,機(jī)械泵又配合油擴散泵組(zǔ)成串聯,以這樣的方式完(wán)成(chéng)抽氣動作。
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